中圖儀器激光干涉儀概述：

 中圖儀器激光干涉儀產品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術，實現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組可以測量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進行動態(tài)分析。

中圖儀器激光干涉儀功能：

激光干涉測量系統(tǒng)應用非常廣泛：精密長度、角度的測量如線紋尺、光柵、量塊、精密絲杠的檢測；精密儀器中的定位檢測系統(tǒng)如精密機械的控制、校正；大規(guī)模集成電路專用設備和檢測儀器中的定位檢測系統(tǒng)；微小尺寸的測量等。 

中圖儀器激光干涉儀性能特點：

1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。

④配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析

③可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進行動態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。

4 性價比高

性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。

中圖儀器激光干涉儀技術參數(shù)：

系統(tǒng)性能

測量方式：單頻

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動態(tài)采集頻率：50 kHz

環(huán)境溫度范圍：0~38℃，環(huán)境濕度：0~95%

存儲溫度范圍：-20℃~70℃

  環(huán)境補償示值誤差

空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

大氣壓力傳感器：±0.1kPa

  線性測量

測量距離：0-40m

測量精度：0.5ppm (0-38℃)

測量分辨率：1nm

測量最大速度：4m/s

注：聯(lián)系我時，請說是在“傲立機床網”上看到的，謝謝！