激光干涉儀是激光在計量領(lǐng)域中最成功的應(yīng)用之一，利用光的干涉實現(xiàn)測量，具有非接觸、無損檢測的特點，在不同領(lǐng)域都有極為廣泛的應(yīng)用，如利用F-P干涉儀和半導(dǎo)體激光二極管測量大型精密離心靜態(tài)臂長；利用電子散斑干涉技術(shù)實現(xiàn)物體表面微小形變的非接觸式測量、李永干涉合成孔徑雷達實現(xiàn)對地表變形進行測量；利用相干梯度敏感干涉測量技術(shù)對靜態(tài)斷裂現(xiàn)象的測量；利用非共面多光束干涉可以在空間形成二維或三維周期性強度分布，從而被用來制作二維或三維光子晶體；利用全息干涉技術(shù)可用于位移及形變測量、應(yīng)變與應(yīng)力分析、缺陷或損傷探測、振動模式可視化及測量、晶體和蛋白質(zhì)生長過程監(jiān)測、流體中密度場和熱對流場的觀察與測量、以及光學(xué)材料與器件的參數(shù)測量等。
本文簡要介紹一下激光干涉儀在如下幾個領(lǐng)域的應(yīng)用情況。
1. 位移傳感器
激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應(yīng)用已成為一大發(fā)展趨勢，其特點是測量精度快、反應(yīng)速度快、易于數(shù)字化測量。在測量中設(shè)計一個精密導(dǎo)軌，將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測，從而形成對比，位移傳感器自動檢定系統(tǒng)與HP干涉儀對定位移進行測試對比，得出往復(fù)測試實驗結(jié)果。
隨著數(shù)控機床應(yīng)用的普及，采用激光干涉儀對數(shù)控機床進行定位精度檢測已經(jīng)成為目前公認的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀可用于精密機床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等在線位置測量、誤差修正和控制，其中雙頻激光干涉儀應(yīng)用最多。與傳統(tǒng)的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率，并能及時處理數(shù)據(jù)，為機床誤差修正提供依據(jù)，位置精度是機床的重要指標，目前各國機床檢定標準中都推薦使用激光干涉儀。雙頻激光干涉儀在機床中的應(yīng)用是其它傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)和替代的。
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