CAX系列X-Y精密平臺(tái)選用高強(qiáng)度鋁合金，經(jīng)應(yīng)力消除處理后再經(jīng)攝氏196度之超深冷處理，可保證長(zhǎng)期使用仍保有良好之精密度。工作臺(tái)內(nèi)部和進(jìn)給機(jī)構(gòu)裝有5年或20000公里免維護(hù)的精密級(jí)直線導(dǎo)軌和C3級(jí)滾珠絲杠，既保持了原來(lái)的性能又實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)期免維護(hù)。實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定的高行走精度、定位精度和大搭載質(zhì)量，該結(jié)構(gòu)承受力矩及復(fù)合負(fù)荷較強(qiáng)。采用AC400W伺服馬達(dá)，全閉環(huán)控制實(shí)現(xiàn)了極高精度的定位工作臺(tái)。X-Y軸的平臺(tái)220mm有效行程專業(yè)為8吋晶元設(shè)計(jì)。

 

型號(hào)表示：

CAX15R220-Y220P10-S1-M

（1）CAX15：CAX平臺(tái)底座寬度150mm；

（2）R220：X軸有效行程220mm；

（3）Y220：Y軸有效行程220mm；

（4）10：滾珠絲桿的導(dǎo)程分為5mm和10mm；

（5）S1：SX671型極限開(kāi)關(guān)，S2：SX674型極限開(kāi)關(guān)；

（6）M：AC400W伺服馬達(dá)；可客制化。

 

 

用戶可根據(jù)不同的工作環(huán)境選擇產(chǎn)品氧化后染黑處理、本色陽(yáng)極氧化、硬質(zhì)氧化、彩色氧化、噴砂氧化、鈍化、化學(xué)鍍鎳等表面處理方式。特殊要求可達(dá)到B.S.5599(1978)英國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、AMS2469C 太空材料規(guī)格及MIL-A-8625E TYPE Ⅲ軍事規(guī)格等材質(zhì)。