5D/6D激光干涉儀
更新時間:2018-01-27 瀏覽數:3363
儀器簡介:5D/6D激光干涉儀是API的專利產品,一次安裝能夠同時測量線性軸的六個誤差,包括1個位置度誤差、2個直線度誤差、3個角度誤差。在通常情況下需要數天時間進行的測試,使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成,實際應用結果表明,節(jié)省時間可達80%。該儀器體積小,重量輕,可以直接安裝到機床導軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成,從激光器發(fā)出的激光光束經過干涉后,被6D傳感器內的分光鏡分成三束。
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